摘要高精密位移传感器是衡量一个国家制造业发展水平的重要标志。常见的高精密位移传感器以光学位移传感器为主，其中应用范围最广泛的是激光干涉仪和光栅。前者因光路直接暴露于工作环境中，存在抗干扰性差、对工作环...
时间:2024-12-01 11:43栏目:学术论文
