微光电子机械系统MOEMS器件技术 1 引言 微光电子机械系统(MOEMS)是一种新兴技术，日前已成为全球最热门的技术之一。MOEMS 是利用光子系统的微电子机械系统(MEMS)，内含微机械光调制器、微机械光学开关、IC 及其他构件，并利用...

时间:2025-02-22 11:24栏目:行业资料