微电子行业工艺冷却水的热能回收摘要:对某微电子厂房的工艺冷却水、纯水的工艺现状和运行数据进行分析,提出在冬季用工艺冷却水回水余热预热纯水原水,这样即节约了冬季用于预热纯水原水的蒸汽,又减少工艺冷却水系统的...
时间:2025-05-12 11:15栏目:行业资料
