科技成果——高精度硅谐振压力传感器技术领域新一代信息技术技术开发单位中国科学院电子学研究所技术概述高精度压力传感器采用先进的换能机制，利用单晶硅的良好机械特性，将压力的作用应力转化机械部件的固有频率，...
时间:2025-03-12 00:27栏目:行业资料
