NXRJ-CZ8520 单晶炉 M-ADC PID 凑调说明书 单晶炉在拉制单晶棒期间直径的波动度、均匀度,尤其是波动度与其控制系统有着密切的关系,好的PID参数就可以拉制出完美的表面光洁度单晶棒。所以控制拉速PID参数在单晶炉设备中起着十分...

时间:2024-11-23 14:35栏目:行业资料