精品文档---下载后可任意编辑High-B 模式 ECR 离子源的设计、研制及优化开题报告一、讨论背景微波电子回旋共振(ECR)等离子体源作为一种重要的离子源技术,在微电子器件、材料表面处理、医学等领域得到了广泛应用。其中 ECR离...
时间:2025-02-09 09:09栏目:行业资料