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High-B模式ECR离子源的设计研制优化开题报告

精品文档---下载后可任意编辑High-B 模式 ECR 离子源的设计研制优化开题报告一、讨论背景微波电子回旋共振(ECR)等离子体源作为一种重要的离子源技术,在微电子器件、材料表面处理、医学等领域得到了广泛应用。其中 ECR离...

时间:2025-02-09 09:09栏目:行业资料

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