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半导体GAS系统基础知识

1 /4 1 / GAS 系 统 基 础 知 识 2 /4 1 / 概述 HOOK-UP 专业认知 一、 厂务系统 HOOK UP 定义 HOOK UP 乃是藉由连接以传输 UTILITIES 使机台达到预期的功能。HOOK UP 是将厂务提供的 UTILITIES ( 如 水,电,气,化学品等),经由预留之 UTILITIES 连接点( POR...

时间:2025-02-08 18:22栏目:行业资料

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