相移式激光平面干涉仪校准规范1 范围本规范适用于测量光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的相移式激光平面干涉仪（以下简称相移干涉仪）的校准。2 引用文件本规范引用下列文件：JJG28-2000《平晶检定规程》JJF1100-2016《平...

时间:2025-06-05 04:50栏目:行业资料