相移式激光平面干涉仪校准规范1 范围本规范适用于测量光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的相移式激光平面干涉仪（以下简称相移干涉仪）的校准。2 引用文件本规范引用下列文件：JJG28-2000《平晶检定规程》JJF1100-2016《平面等厚干涉仪校准规范》ISO14999-2：ISO14999-4：使用本规范时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3 定义3.1 标准平面镜干涉仪上，用于透射并产生反射参考光的光学平板，是平面面形偏差测量的基准。标准平面镜是指安装在固定夹具中的标准平面平晶。3.2 面形偏差被测面形相对参考面形状的偏差，其值以被测面上的点偏离参考面的距离来度量。3.3 绝对面形偏差被测面形相对理想表面形状的偏差，其值以被测面上的点偏离理想表面的距离来度量。3.4 PVPV 也称为峰-谷值，用于评定面形偏差（或绝对面形偏差）的参数。其值为被测表面上所有测量点中面形偏差（或绝对面形偏差）最大值与最小值的代数差。3.5 PV10值2PV10用于评定面形偏差（或绝对面形偏差）的参数。其值为被测表面上所有测量点(7)3中，面形偏差（或绝对面形偏差）10 个最大值的平均值与 10 个最小值的平均值的代数差。3.6 PVrFFr 定义为面形偏差的 36 项 Zernike 多项式拟合面 PV 加上 3 倍拟合残差（面形偏差减去 36 项 Zernike 多项式拟合面）的均方根值。注：Zernike 多项式定义按 ISO14999-2 附录 A 和 ISO14999-4:附录 B 标准定义。3.7 RMSRMS 也称均方根值。用于评定面形偏差（或绝对面形偏差）的参数，其值为被测表面上所有测量点面形偏差（或绝对面形偏差）的均方根值。4概述相移干涉仪是利用压电陶瓷微位移机构产生相位移动，获得不同相位的系列干涉图像，并按相应数学公式（1）进行处理和分析、计算，得到与理想平面面形偏差的干涉仪相移干涉仪按光轴方位分为立式（见图 1）和卧式（见图 2）结构。1-被测件；2-标准平面镜；3-微位移机构（相移器）；4-准直物镜；5-CCD 摄像头；6-摄像物镜；7-空间滤波器；8-激光器由双光束干涉理论，干涉场中光强分布可表示为：图 1 立式相移干涉仪的光学原理图图 2 卧式相移干涉仪的光学原理图--I;ii00-1■I■++"rL_L・J算42）I(x,y)二 I(X,y)+1(x,y)+2[I(x,y)1(x,y)]i/2cos[(b(x,y)]...
