8．1．2 硅中氧的测量 硅中氧的测量主要有四种方法。一种是熔化分析法(Fusion Analysis，FA)，这是早期用来测量氧浓度的方法。它是将硅在石墨坩埚中熔化，温度高达l700℃左右，硅中的氧和石墨反应产生CO 气体，然后用红外方法...

时间:2025-03-15 11:36栏目:行业资料