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集成电路制造技术-原理工艺课后习题答案

. 精品第一单元 : 3. 比较硅单晶锭 CZ,MCZ和 FZ三种生长方法的优缺点。答:CZ直拉法工艺成熟,可拉出大直径硅棒,是目前采用最多的硅棒生产方法。但直拉法中会使用到坩埚, 而坩埚的使用会带来污染。 同时在坩埚中, 会有自...

时间:2025-01-12 08:39栏目:行业资料

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