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集成电路制造工艺原理

集成电路制造工艺原理课程总体介绍:1.课程性质及开课时间:本课程为电子科学与技术专业(微电子技术方向和光电子技术方向)的专业选修课。本课程是半导体集成电路、晶体管原理与设计和光集成电路等课程的前修课程...

时间:2025-04-19 18:48栏目:行业资料

2025年《集成电路工艺原理芯片制造》课程+试题库

一、填空题(30 分=1 分*30)10 题/章晶圆制备1. 用来做芯片的高纯硅被称为( 半导体级硅 ),英文简称( GSG ),有时也被称为( 电子级硅 )。2. 单晶硅生长常用( CZ 法 )和( 区熔法 )两种生长方式,生长后的单晶硅被称...

时间:2025-04-10 16:19栏目:高等教育

集成电路制造技术-原理工艺课后习题答案

. 精品第一单元 : 3. 比较硅单晶锭 CZ,MCZ和 FZ三种生长方法的优缺点。答:CZ直拉法工艺成熟,可拉出大直径硅棒,是目前采用最多的硅棒生产方法。但直拉法中会使用到坩埚, 而坩埚的使用会带来污染。 同时在坩埚中, 会有自...

时间:2025-01-12 08:39栏目:行业资料

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