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ICP刻蚀工艺要点

ICP 考试题库,选择题。1、ICP 刻蚀机的分子泵止常运行时的转速大约在(B)RPMA20000B32000C40000D180002、北微 ICP 本底真空和漏率指标为(A)时,设备能够正常工作A0—0.1mT<1mT/minB>2.5mT<2mT/minC0.3--0.5mT<1.0mT/minD>0.5mT<2.5mT/min3、NMC 刻蚀机当...

时间:2025-04-20 06:10栏目:行业资料

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