第二章TFT 显示器的制造工艺流程和工艺环境要求 第一节 阵列段流程 一、主要工艺流程和工艺制程 （一）工艺流程 （二）工艺制程 1、成膜：PVD、CVD 2、光刻：涂胶、图形曝光、显影 3、刻蚀：湿刻、干刻 4、脱膜 二、辅助工艺...

时间:2024-12-05 22:08栏目:行业资料