精品文档---下载后可任意编辑Si 基 LED 外延层中 C、H、O 污染的 SIMS 讨论的开题报告一、讨论背景随着 Si 基 LED 制造工艺的进展，高质量的 Si 基 LED 外延层已成为讨论的热点。其中，C/H/O 等杂质元素污染对 Si 基 LED 性能的影响尤...

时间:2025-02-10 11:15栏目:行业资料