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一种电容式硅微机械麦克风的设计与制造董健(浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭州,310014)摘要：文中给出了一种电容式硅微机...

2024-11-12发布145 浏览7 页29 次下载593 KB