在最近举办的SPIE 高级光刻技术会议上，尽管EUV 光刻工具的发展现状仍显得不够成熟，但目前唯一一家推出商用EUV 光刻设备的厂商ASML 还是给我们带来了一些下一代EUV 光刻机的新信息，而我们也趁此机会给大家总结一下ASML 已经...

时间:2025-03-03 10:18栏目:行业资料

挺进次世代：ASML 披露更多EUV 光刻机研发新进展 IMEC 工作人员正在安装NXE:3100 如我们往常介绍的那样，ASML 目前上市的试产型EUV 光刻机型号为NXE:3100，这款机型号称最高成像能力为18nm，尽管这款机型在曝光功率和产出量方面还存...

时间:2024-11-25 03:09栏目:行业资料