第九章.ASML 步进扫描式光刻机 荷兰ASML 的光刻设备是全球最好的光刻设备制造商,光刻设备是芯片行业最主要,最关键也是最贵的设备,以下我们以ASML PAS 5500 为研究对象进行讨论,ASML 光刻机主要由光罩采集和存放系统,光罩...
时间:2025-01-25 15:01栏目:行业资料