第九章．ASML 步进扫描式光刻机 荷兰ASML 的光刻设备是全球最好的光刻设备制造商，光刻设备是芯片行业最主要，最关键也是最贵的设备，以下我们以ASML PAS 5500 为研究对象进行讨论，ASML 光刻机主要由光罩采集和存放系统，光罩...

时间:2025-01-25 15:01栏目:行业资料