金属有机化合物气体应用：四氟化硫1.别名 middot;英文名氟化硫；Sulfurtetrafluoride、Sulfurfluoride．2.用途电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻。3.制法2F2+Srarr;SF44.理化性质分子量：108.058熔点：-121.5℃沸点(101.325k...

时间:2025-05-29 09:01栏目:行业资料