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化物气体应用二氟硅烷

化物气体应用二氟硅烷1.别名 middot;英文名二氟二氢硅;Difluorosilane.2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质分子量:68.10熔点:-122.0℃沸点(101.325kPa):-77.8℃气体密度:2.35kg/m3熔化热:6.148kJ/kg气化热:292.092kJ...

时间:2025-06-30 10:32栏目:行业资料

化物气体应用二氟硅烷

化物气体应用二氟硅烷1.别名·英文名 二氟二氢硅;Difluorosilane.2.用途 含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质 分子量:68.10 熔点: -122.0℃ 沸点(101.325kPa): -77.8℃ 气体密度:2.35kg/m3 熔化热:6.148kJ/kg 气化热:292.0...

时间:2025-05-23 12:01栏目:行业资料

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