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碎片内容
氟化物气体应用：二氟硅烷1
别名·英文名 二氟二氢硅；Difluorosilane．2
用途 含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气
理化性质 分子量：68
10 熔点： -122
0℃ 沸点(101
325kPa)： -77
8℃ 气体密度：2
35kg/m3 熔化热：6
148kJ/kg 气化热：292
092kJ/kg 临界温度：34℃ 蒸气压(-124
666kPa (-98
3℃)：26
664 kPa (-87
8℃)：53
329kPa比热容(气体，25℃)：749
443J/(kg·K) 二氟硅烷在常温常压下为具备腐蚀性的可燃性有毒气体
长时间放置时缓慢分解，但比 SiHF3 分解速度慢
2SiH2F2→SiH4+SiF4 在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气
与乙醇、氨和胺反应
参见六氟化二硅
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