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氟化物气体应用二氟硅烷

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氟化物气体应用:二氟硅烷1.别名·英文名 二氟二氢硅;Difluorosilane.2.用途 含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质 分子量:68.10 熔点: -122.0℃ 沸点(101.325kPa): -77.8℃ 气体密度:2.35kg/m3 熔化热:6.148kJ/kg 气化热:292.092kJ/kg 临界温度:34℃ 蒸气压(-124.3℃):2.666kPa (-98.3℃):26.664 kPa (-87.8℃):53.329kPa比热容(气体,25℃):749.443J/(kg·K) 二氟硅烷在常温常压下为具备腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解,但比 SiHF3 分解速度慢。2SiH2F2→SiH4+SiF4 在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。 与乙醇、氨和胺反应。 参见六氟化二硅。

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