氟化物气体应用二氟硅烷

氟化物气体应用：二氟硅烷1.别名·英文名 二氟二氢硅；Difluorosilane．2.用途 含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。3.理化性质 分子量：68.10 熔点： -122.0℃ 沸点(101.325kPa)： -77.8℃ 气体密度：2.35kg/m3 熔化热：6.148kJ/kg 气化热：292.092kJ/kg 临界温度：34℃ 蒸气压(-124.3℃)：2.666kPa (-98.3℃)：26.664 kPa (-87.8℃)：53.329kPa比热容(气体，25℃)：749.443J/(kg·K) 二氟硅烷在常温常压下为具备腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比 SiHF3 分解速度慢。2SiH2F2→SiH4+SiF4 在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。 与乙醇、氨和胺反应。 参见六氟化二硅。