氟化物气体应用:二氟硅烷1
别名 middot;英文名二氟二氢硅;Difluorosilane.2
用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气
理化性质分子量:68
10熔点:-122
0℃沸点(101
325kPa):-77
8℃气体密度:2
35kg/m3熔化热:6
148kJ/kg气化热:292
092kJ/kg临界温度:34℃蒸气压(-124
3)℃ :2
666kPa(-98
3)℃ :26
664kPa(-87
8)℃ :53
329kPa比热容(气体,25)℃ :749
443J/(kgmiddot;K)二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体
长时间放置时缓慢分解,但比 SiHF3 分解速度慢
2SiH2F2rarr;SiH4+SiF4在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气
与乙醇、氨和胺反应
参见六氟化二硅
内容总结(1)氟化物气体应用:二氟硅烷1
别名 middot(2)参见六氟化二硅