金属有机化合物气体应用：四氟化硫1
别名 middot;英文名氟化硫；Sulfurtetrafluoride、Sulfurfluoride．2
用途电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻
制法2F2+Srarr;SF44
理化性质分子量：108
058熔点：-121
5℃沸点(101
325kPa)：-40
4℃液体密度(-40
4℃，101
325kPa)：1816kg/m3(-80℃，S
)：1940
6kg/m3气体密度(20℃，101
325kPa)：4
558kg/m3相对密度(气体，空气=1，20℃，101
325kPa)：3
783比容(21
1℃，101
325kPa)：0
2247m3/kg临界温度：90
9℃临界压力：6342
9kPa气化热(-40
4℃，101
325kPa)：200
72kJ/kg比热容(气体，25℃)：Cp=707
57J/(kgmiddot;k)蒸气压(-100℃)：0
9kPa(-60℃)：32kPa(21
1℃)：1067
