金属有机化合物气体应用：四氟化硫1.别名 middot;英文名氟化硫；Sulfurtetrafluoride、Sulfurfluoride．2.用途电子气、化学气相淀积、氟化剂、表面处理剂、等离子干刻。3.制法2F2+Srarr;SF44.理化性质分子量：108.058熔点：-121.5℃沸点(101.325kPa)：-40.4℃液体密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3(-80℃，S.P.)：1940.6kg/m3气体密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：3.783比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg临界温度：90.9℃临界压力：6342.9kPa气化热(-40.4℃，101.325kPa)：200.72kJ/kg比热容(气体，25℃)：Cp=707.57J/(kgmiddot;k)蒸气压(-100℃)：0.9kPa(-60℃)：32kPa(21.1℃)：1067
