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找到关键词“2025年ABM光刻机简明操作指南”相关内容 1搜索耗时:0.0027秒

2025ABM光刻简明操作指南

ABM 光刻简要操作指南一、开。1.打开光刻电源、真空泵、氮气、压缩空气。调节背面气压旋钮,使压缩空气气压力约 35 PSI,氮气压力约 5 PSI,真空压力约 -25 PSI。注意:过大的气体压力可能会对设备造成损坏。2.把右面板...

时间:2024-12-09 21:01栏目:高等教育

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