ABM 光刻机简要操作指南一、开机。1.打开光刻机电源、真空泵、氮气、压缩空气。调节背面气压旋钮，使压缩空气气压力约 35 PSI，氮气压力约 5 PSI，真空压力约 -25 PSI。注意：过大的气体压力可能会对设备造成损坏。2.把右面板...

时间:2024-12-09 21:01栏目:高等教育