材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例 例：将剂量为1107ions/cm2，能量为45KeV 的碳离子注入单晶硅中，然后在1100C退火2h 进行热处理。对单晶硅试样进行XPS 测试，试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析，以确定各种可...

时间:2024-12-17 10:09栏目:行业资料