精品文档---下载后可任意编辑PECVD 的布气装置优化设计及沉积参数讨论的开题报告一、选题背景及介绍PECVD（Plasma Enhanced Chemical V...
中国工程建设标准化协会标准鼓风曝气系统设计规程DesignstandardofaerationblowingsystemCECS97:97主编单位：北京建筑工程学院审查单位：中...
