01805741
1单晶硅晶片及单晶硅的制造方法201806781
6绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法302111781
0分离单晶硅埚底料中石英的工艺403112137
3单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法502802101
0直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法696120692
6抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置787103486掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法888108387
9单晶硅的制造方法和设备989103289
4一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构1090100791
9单晶硅生产装置1190102475
9制造单晶硅的设备1291102921
4单晶硅直径测定法及其设备1391102922
2单晶硅直径控制法及其设备1491102924
9单晶硅生产设备1591102923
0单晶硅生产设备1691102532
4单晶硅生产设备1791102343
7制造单晶硅的装置1895119376
7单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法1996102527
1单晶硅锭及其制造方法2097113523
1提拉单晶硅的装置2197120661
9直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针2297121626
6双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法2398100416
4通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品2498116827
2单晶硅-纳米晶立方氮化硼薄膜类P-N结及其制作方法2597113737
4低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用2698121350
2单晶硅片抗机械力的提高2798807859
7生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法2898807993
3用于单晶硅生长的非Dash缩颈法2999801049
9形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法30998