01805741.1单晶硅晶片及单晶硅的制造方法201806781.6绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法302111781.0分离单晶硅埚底料中石英的工艺403112137.3单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法502802101.0直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法696120692.6抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置787103486掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法888108387.9单晶硅的制造方法和设备989103289.4一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构1090100791.9单晶硅生产装置1190102475.9制造单晶硅的设备1291102921.4单晶硅直径测定法及其设备1391102922.2单晶硅直径控制法及其设备1491102924.9单晶硅生产设备1591102923.0单晶硅生产设备1691102532.4单晶硅生产设备1791102343.7制造单晶硅的装置1895119376.7单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法1996102527.1单晶硅锭及其制造方法2097113523.1提拉单晶硅的装置2197120661.9直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针2297121626.6双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法2398100416.4通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品2498116827.2单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法2597113737.4低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用2698121350.2单晶硅片抗机械力的提高2798807859.7生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法2898807993.3用于单晶硅生长的非Dash缩颈法2999801049.9形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法3099812088.X热退火后的低缺陷密度单晶硅3199811709.9从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构3201131737.X标定单晶硅晶圆晶向的方法3300812335.7制备具有均匀热过程的单晶硅的方法3402111221.5单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法35200710133581.6单晶硅高效复合切割方法及其切割系统36200710047776.9新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池37200710180002.3过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻38200710185125.6单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池39200710185126.0单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池40200710185123.7单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池41200710185124.1单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池42200710157175.3超声波清洗单晶硅片方法及其装置43200710151631.3使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法44200610162854.5可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置45200580050178.6单晶硅的生长方法46200710018889.6单晶硅薄膜及其组件的制备方法47200710192803.1单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构48200710063644.5提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法49200810060274.4改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置5085100591非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置5185100856制备单晶硅片表面完整层的新途径5202281654.2一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器5389213391.0区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构5493200611.6单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽5596236137.2单晶硅片各向异性腐蚀夹具5695224595.7用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器5797239008.1单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置5800224737.2单晶硅衬底双面抛光片5900225900.1单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置6001265431.0低氧碳单晶硅复投料自卸机构61200720039053.X一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽62200720192576.8超声波清洗单晶硅片装置63200410092027.4一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻64200310116749.4一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻65200410096670.4具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备6603808958.0单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片6703810538.1单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法68200510023460.7单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法69200510023461.1单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法7003818379.X提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法71200510062693.8涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质72200510059736.7直拉单晶硅用砷...
