真空机组使用说明及注意事项一真空机组开机流程1、启动VB150维持泵，然后打开出口阀
当电阻计2真空度达到5帕以下时，启动扩散泵加热
2、启动VB200旋片泵，打开旁通阀；当电阻计1真空度达到2000帕以下时，开启2ZJP—300罗茨泵，进行预抽
3、扩散泵加热50分钟以上且电离计真空达到5帕以下时，先关闭旁通阀，再打开主阀，进行主抽
4、关闭2ZJP—300罗茨泵，30秒后关闭VB200旋片泵
二真空机组关机流程1、关闭主阀
2、启动-----关机程序
三真空机组使用注意事项1、真空机组在使用的整个过程中，必须保证水路、气路完整通畅
2、必须严格按照真空机组的开机、关机流程，进行操作
3、扩散泵加热过程中，若不慎断水
应先关闭扩散泵电源，再关闭主阀
然后摘下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温
在这过程中，要一直保持VB150维持泵和出口阀处于开启状态
4、扩散泵加热过程中，若VB150维持泵出现故障不工作，应先关闭出口阀，然后启动VB200旋片泵，再启动2ZJP—300罗茨泵，打开维持阀进行主抽
