实验十压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法
二、基本原理扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条,接成电桥
在压力作用下根据半导体的压阻效应,基片产生应力,电阻条的电阻率产生很大变化,引起电阻的变化,我们把这一变化引入测量电路,则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化
三、实验器材主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管
四、实验步骤1、将压力传感器安装在实验模板的支架上,根据图4-1连接管路和电路(主机箱内的气源部分,压缩泵、贮气箱、流量计已接好)
引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中(注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压,则可轻松拉出),另一端口与压力传感器相连
压力传感器引线为4芯线:1端接地线,2端为U0+,3端接+4V电源,4端为Uo-
图4-1压阻式压力传感器测压实验安装、接线图2、实验模板上RW2用于调节放大器零位,RW1调节放大器增益
按图4-1将实验模板的放大器输出V02接到主机箱电压表的Vin插孔,将主机箱中的显示选择开关拨到2V档,合上主机箱电源开关,RW1旋到满度的1/3位置(即逆时针旋到底再顺时针旋2圈),仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零
3、合上主机箱上的气源开关,启动压缩泵,逆时针旋转转子流量计下端调压阀的旋钮,此时可看到流量计中的滚珠向上浮起悬于玻璃管中,同时观察气压表和电压表的变化
4、调节流量计旋钮,使气压表显示某一值,观察电压表显示的数值
5、仔细地逐步调节流量计旋钮,使压力在2~18KPa之间变化,每上升1KPa气压分别读取电压表读数,将数值列于表4-1
表4-1P(KPa)2345678910Vo(p-p)P(KPa)1112131415161718Vo(p-p)6、画出实验曲线计算本系统的灵敏度和非线性误差
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