聚对二甲苯的制备及其应用前景化材系高分子材料与工程专业09750120(学号)周亮(姓名)指导教师张少华摘要:文中主要对聚对二甲苯的制备方法、成膜机理、聚对二甲苯薄膜的性能及其应用领域进行了综述,指出其发展中存在的问题,并对其发展前景进行了展望
关键词:聚对二甲苯;气相沉积;应用;制备1
聚对二甲苯及其衍生物聚对二甲苯(Poly-p-xylene),商品名帕里纶(Parylene,国内称为派瑞林),是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲撑苯撑结构的聚合物薄膜的统称
对二甲苯环聚二体可以制得各种取代衍生物,芳环上取代基如一COOH,NO2,一RS,一OH,一NH2,一SH,一R(R代表烷基),一COR,一C00R,一OR基等
聚对二甲苯薄膜主要有ParyleneN、ParyleneC和ParyleneD,其中PC和PD分别为单氯和双氯取代分子,PN为无氯代的基础型分子
表1和表2列出了3种类型的Parylene的分子结构式及特性
其中parylene-C膜(5
8μm)显示出良好的热稳定性能:在惰性气体中可耐500℃的温度;在空气中可耐200℃的温度
在高达200℃还表现出良好的绝缘性
在10-15_10-12S/cm的低频导电率范围内温度变化从90℃-185℃[1]
表1对二甲苯聚合物的分子结构式及涂层特性[2]Parylene类型分子结构式涂层特性ParyleneN具有很高的介电强度,介电常数低,且不随频率变化,涂层穿透能力最强ParyleneC具备优良的介电性能和物理机械性能,对潮湿和腐蚀性气体有最低的渗透性ParyleneD较高温度下具有优良的物理机械性能,有较高的热稳定性表2Parylene(商用)的主要性能参数性能ParyleneNParyleneCParyleneDASTM方法密度/g·cm-31
418D505熔点/℃420290380膨胀系