第1页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页共6页更多资料请访问.(.....)更多企业学院：...../Shop/《中小企业管理全能版》183套讲座+89700份资料...../Shop/40.shtml《总经理、高层管理》49套讲座+16388份资料...../Shop/38.shtml《中层管理学院》46套讲座+6020份资料...../Shop/39.shtml《国学智慧、易经》46套讲座...../Shop/41.shtml《人力资源学院》56套讲座+27123份资料...../Shop/44.shtml《各阶段员工培训学院》77套讲座+324份资料...../Shop/49.shtml《员工管理企业学院》67套讲座+8720份资料...../Shop/42.shtml《工厂生产管理学院》52套讲座+13920份资料...../Shop/43.shtml《财务管理学院》53套讲座+17945份资料...../Shop/45.shtml《销售经理学院》56套讲座+14350份资料...../Shop/46.shtml《销售人员培训学院》72套讲座+4879份资料...../Shop/47.shtml18.2MΩ纯水的输送管材概论第2页共6页第1页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第2页共6页一、纯水的等级与规范˙AAMIHemodialysisGradeWater˙ASTMReagentGradeWater˙ASTMElectronicsGradeWater˙CAPReagentGradeWater˙CellCultureWater˙USPGradeWater工业上使用的纯水，以电子级纯水的纯度要求最高。4”晶圆厂对纯水的纯度要求为12MΩ，6”晶圆厂提升至16MΩ。到了8”晶圆厂，它对纯水的纯度要求骤然提升到18.2MΩ。今日的12”晶圆厂，LCD－TFT厂等均使用18.2MΩ的纯水。用来标示纯水纯度等级的导电度与电阻的关系如表一所示。电子厂ASTMD5127-99规范的电子级纯水标准如表二所示。由超纯水设备制造出来的纯水，需要通过管道(pipeline)输送到工厂内的任一用户点(POU)。所以如何让制造完成的纯水不受任何污染而可以有效输送到需求的使用端，是一件很重要的工作。所有的管材都会将其所含的物质释放出来，以金属管最严重，再加上腐蚀因素，完全不适合作为纯水管道的管材。即使所谓的SUS304，SUS304L，或SUS316L…等，都不能用来输送高纯度的纯水。因为不锈钢材质与纯水之间的过氧化(rouge)作用会产生锈蚀的针孔腐蚀(pitting)效应，除了污染水质外，也会造成管道的泄漏。所以，严格来说水的导电度在1MΩ以下，不锈钢材质的管材是可以被接受的；而水的导电度在1MΩ以上时，不锈钢材质的管材是不可以被接受的。塑料管与纯水之间没有过氧化(rouge)作用产生锈蚀的问题，只有管材本身释放(leaching)重金属离子等不纯物质污染水质的问题。下面的图一可以说明各种材质塑料管本身从管壁释放(leaching)不纯物质的比较，当然管壁释放(leaching)不纯物质的量愈少，愈符合我们的需求。需要特别注意的是：相同管材，因制造供应厂商的差异不同，管壁释放(leaching)不纯物质的量也不同。所以，以下本文所提及的ABS管需要AS规范的ABS管；PVDF管需要Solvay的PVDF树脂生产的PVDF管。非AS规范的ABS管及Solvay的PVDF树脂生产的PVDF管，都不是本文所探讨与使用的对象。第3页共6页第2页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第3页共6页第4页共6页第3页共6页编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第4页共6页图一、各种材质塑料管本身从管壁释放(leaching)不纯物质的比较<图一>各种塑料管内壁TOC值的比较图二、水在PVDF管及ABS管(AS规范)内之TOC有机成分物质与运转时间的关系可以确保管内18.2MΩ的水质稳定之管材仅有Solvay的PVDF与AS规范的ABS两种，而PVDF的树脂原料必须由Solvay供应才会有表二的条件；至于ABS，则需要符合AS(AustraliaStandard)规范的ABS塑钢管，才有上述性质。图二为依照PVDF纯水管材树脂原料主要供货商比利时Solvay公司的论文报告，AS规范的ABS管跟其生产的PVDF管在输送18.2MΩ超纯水系统上是同等级且可以相互比较的。从这个图可以得出以下的结论：(1)ABS管与PVDF管的内壁释放物极少。可以维持管内流体的TOC值稳定，符合标准及规定。(2)ABS管的初次消毒杀菌时间是PVDF管的2倍至2.5倍。此点需要注意的是ABS管的制造生产，如果在洁净的无尘室内生产制造，然后予以密封包装，则该图的曲线只有PV...
