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第1页共10页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共10页第一章1真空度与压强的关系,粗,低,高,超高真空如何划分。托、大气压之间的关系答:压强越低意味着单位体积中气体分子数愈少,真空度愈高,反之真空度越低则压强就越高。粗真空:(1X105~1X102Pa)低真空(1X102~1X10-1Pa)高真空(1X10-1~1X10-6Pa)超高真空(<1X10-6Pa)1托=1/760大气压2为气体临界温度。气体与蒸气区别、平均自由程、余弦散射定律答:气体临界温度:对于每种气体都有一个特定的温度.高于此温度时.气体无论如何压缩都不会液化,这个温度称为该气体的临界温度。气体与蒸气区别:温度高于临界温度的气态物质称气体,低于临界温度的气态物质称为蒸气平均自由程:每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为“自由程”,这是一个描述气体性质的微观参量,其统计平均值称为“平均自由程”。余弦散射定律:碰撞于固体表面的分子,它们飞离表面的方向与原入射方向无关.并按与表面法线方向所成角度θ的余弦进行分布。3简述旋片机械泵、扩散泵、分子泵原理及真空范围使用时是否需配前级泵答:旋片机械泵原理:通过悬片的转动将待抽真空的容器中的气体吸入并压缩排出机械泵,通过此原理不断循环,从而使容器达到真空。真空范围:1大气压——10-2pa不需要使用前级泵扩散泵:扩散泵是利用被抽气体向蒸气流扩散的现象来实现排起作用的。真空范围:1——10-6Pa需要前级泵分子泵:靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口,由前级泵抽走,而使被抽容器获得超高真空。真空范围:1——10-8Pa需要前级泵4简述热阻、热偶、热阴极电离真空计原理及测量原理答:热阻真空计原理:通过测量热阻丝的电阻随温度变化,建立电阻与压强的关系,间接确定压强,从而实现对真空的测量。104Pa——10-2Pa热偶真空计原理:低压强下气体热传导与压强有关,用热电偶测量热丝温度,建立气体压强与热偶电动势之间的关系,从而确定真空室压强。102Pa——10-1Pa热阴极电离真空计原理:电子在加速电场中获得能量,参与气体分子碰撞将发生电离,产生正离子和次级电子,正离子数正比于气体密度,即在一定温度下正比于气体压强,根据离子电流大小,来测压强。10-1Pa——10-6Pa5典型真空系统组成是什么?何为极限真空及抽气速率答:典型真空系统组成:待抽空的容器(真空室)、获得真空设备(真空泵)、测量真空的器具(真空汁)以及必要的管道、阀门和其他附属设备。极限真空:系统所能达到的最低压强。抽气速率:在规定压强下单位时间所抽出气体的体积。第二章1、真空蒸发系统组成。镀膜基本过程是什么,何为蒸发温度、饱和蒸气压与温度关系、蒸发速率与何因子有关。如何减小蒸发分子碰撞几率答:真空蒸发系统组成:1真空室2蒸发源或蒸发加热器3基板4基板加热器和测温器镀膜基本过程:1加热蒸发过程2气化原子或分子在蒸发源与基片之间的输运3蒸发原子或分子在基片表面上淀积过程第2页共10页第1页共10页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共10页蒸发温度:物质在饱和蒸气压为10-2托时的温度,叫该物质的蒸发温度饱和蒸气压与温度关系:物质的饱和蒸汽压随温度的上升而增大,在一定温度下,各种物质的饱和蒸汽压不相同,且具有恒定的数值。克拉伯龙-克劳修斯方程式:dpvdt=HvT(Vg−Vs)蒸发速率因子:蒸发速率除与蒸发物质的分子量,绝对温度和蒸发物质在温度T时的饱和蒸汽压外,还与材料表面清洁度有关。特别是蒸发源温度的变化对蒸发速率影响极大。如何减小蒸发分子碰撞几率:平均自由程比源——基距大得多的情况下。3简述点源、小平面源的蒸发特点并比较两者相对厚度分布曲线。两种点源与基板相对位置如何配置P25-27答:点源(点蒸发源):以相同的蒸发速率向各个方向蒸发。小平面(小平面蒸发源):具有方向性,遵从余弦角度分布规律厚度曲线比较:两种源在基片上所沉淀的膜厚度,虽然很近似,但是由于蒸发源不同,在给定蒸发料,蒸发源和几班距离的情况下,平面蒸发源的最大厚度可为点蒸发源的4倍左右。对基板位置配置:点源:为了获得均匀膜厚,点源必须配置在基板所围成的球状中...

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