一厂设备科上半年工作总结(201X)一厂设备科上半年工作总结（201*）一厂设备科20XX年上半年工作总结一、设备各项指标完成情况1、设备故障时间统计1200h1000h800h600h400h200h0h111月72月3月4月2801085月87.56月1080上海蓝光2、设备主要故障原因一厂汇单位：h总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年1572.5《外延组》：404481084.50.01.23mocvd-i时间：1h原因：h2压力低下down机3.31mocvd-i时间：4h原因：设备漏水5.11m-k465时间：15.5h原因：反应室下端焊接处漏5.12m-k465时间：8.5h原因：反应室下端焊接处漏5.29mocvd-n时间：2h原因：rt电脑异常，对其重新启动6.22烤炉d时间：5h原因：由于湿度过大导致跳电宕机《制备》：原因：3.4-5pecvd03时间：36h原因：加热控制器出错3.6-11pecvd03时间：132h原因：加热控制器出错3.14-16高温清洗机时间：22原因：上下轴移动告警3.21高温清洗剂时间：16h原因：石英提篮摔碎4.9ito-03时间：17.5h原因：e-gun熄火4.10qx-03时间：13h原因：2X槽石英槽破裂4.17pg-04，05，06时间：14h原因：线条粗，粘版4.18pg-06时间：12h原因：线条粗细不均匀4.19pg-06时间：24h原因：线条粗细不均匀4.20pg-06时间：9h原因：线条粗细不均匀5.6pg-05时间：12h原因：stage异常，改造5.7pg-05时间：12h原因：stage异常，改造5.27pg-06时间：7h原因：曝光台不平《芯片》：3.25-4.24cs20~cs30时间：974h原因：真空异常，探痕异常，分选排列异常，分选马达异常等4.26cs30时间：3h原因：分选前置ppt变形，卡夹感应器异常4.30cs26时间：3h原因：wafer置放失败5.1ym03时间：3h原因：设备电源无法启动5.2hp05，hp07时间：7h原因：厂家保养5.5hp05时间：第1页共5页3.5h原因：划片切深不够5.6hp05，hp06时间：7.5h原因：划片切深不够5.8lp-04时间：4h原因：无法开机5.14hp-06时间：10h原因：ccdz轴光栅尺污染5.21ym-04时间：6.5h原因：研磨偏6.6cs24时间：8.5h原因：软件异常，触摸屏异常6.9cs28时间：5h原因：电极异常；ym-04时间：3h6.15hp-07时间：12h原因：平台晃动对设备故障时间总结。a）设备故障时间统计办法从4月份进行更改，innobiz故障时间纳入统计。5月份由于重新定义故障时间的核算方法，innobiz的设备调整调试时间均不纳入故障考核，使得芯片部门设备故障时间大大减少。b）上半年制备设备故障主要体现在pecvd-03上，加热器控制错误故障时间长达168h，该设备的加热控制是厂家专利设计，无法再短时间内购买到合适的备件，对于其加热测温的热电偶也得现场测量，其密封口径也必须与设备相配合。曝光机综合故障时间为113小时，主要体现在自动曝光机上，此类曝光机精度较高，维修难度较大，且都为厂家一代产品，尚有许多不稳定因素，改造性维修时间较长。c）芯片后段4月份起innobiz故障时间纳入统计，由于该设备调整调试频繁，综合故障时间达到974h，占4月份故障总时间的90%，后规范故障考核标准，故障时间大大减少。划片机由于厂家过于保守，内部主要部件维修均采用上锁和保密方式，不让我科室人员自行修复。特别是激光源调整和平台更换设置与厂家和我司维修费用付款及时性问题，造成很多等待等无效故障时间。d）本季度设备故障总时间为1572.5h（未剔除备件等待时间），由于故障设备非瓶颈性及备品备件准备充分，对生产影响较小。现一厂制定设备故障时间指标为每月不超过270h且剔除备件等待时间（1000h），则上半年设备科总体故障时间达标。第2页共5页2、备品备件及外修费用120万元100万元80万元60万元40万元20万元0万元1月2月3月4月5月6月43.3665.2352.4757.8944.33112.91上海蓝光单位：万元一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年386.19122.78138.0992.8431.79对设备备品备件和外修维修费用总结：1、设备科备品备件和外修维修费用单片指标为33.1元，综合产量约合上半年备品备件和外修维修费用指标为354万元而实际为386.19万元。2、1月份由于生产需要，备品备件集中领用，备品备件和外修费用共计112.91万元，占上半年总费用的约30%3、设备完好率101.00%100.00%99.00%98.46%98.00%97.00%1月2月3月4月5月6月99.99%99.99%上海蓝光99.76%99.87%99.90%单位实际结论：一...
