多圈光电轴角编码器在直线位移测量中的应用_张世轶VIP

第13卷增刊2005年11月光学精密工程OpticsandPrecisionEngineeringVol.13Supp.Nov.2005收稿日期:2005-07-20;修订日期:2005-09-15.文章编号10...