ZrO2和ZrNx薄膜的结构形貌与润湿性研究

摘 要在各种应用领域里都需要能够承受恶劣条件的疏水材料，金属陶瓷薄膜由于本身具有的高硬度，高韧性和高熔点等特性，是非常理想的疏水材...