TFC膜系设计中文教程VIP免费

TFCalc Ex amples Antireflection (AR) Filters Page AR-1 Single-Layer Description 这是最古老的AR 设计。假定入射介质是空气，基板具有折射率 Ns,那么折射率小于 Ns 的任何药材组成的四分之一波长厚度的膜层，其反射在参考波长下都最小。若膜层的折射率是Ns 的平方根，则其反射在参考波长处是零。但若 Ns＜1.9，则不存在反射可以降到零的永久药材。在这种情况下，我们需要一个两层的膜系。 Plot 裸的基板的反射率大约是4.2%，四分之一波长厚度的MgF2 会将其在 550nm 处Comment 的反射降到大约 1.3%。 Antireflection (AR) Filters Page AR-2 Two-Layer (V coating) Description 一个两层膜的AR 膜系比单层的在反射上有更多的控制。一个两层膜的滤波器可以在某单一波长处反射为 0，这就是称其为 V-coating 的原因。对于给定的两个药材，可以有两种产生 0 反射的设计。但此种膜系的缺点就在于 0 反射处波长对于加工误差很敏感，这可以用本软件显示其敏感度来说明。 Plot 此图显示的是两种设计的反射。一个相当厚的ZrO2 膜层处在玻璃基板和 MgF2 膜Comment 层之间。为使反射降到 0，可以用优化来确定两个膜层的厚度。 Antireflection (AR) Filters Page AR-3 Two-Layer (W coating) Description 一个两层膜的AR 膜系比单层的在反射上有更多的控制。一个两层膜的滤波器的另一特性是可使某一范围内的反射很低（但不为 0）。这就是为什么称它为 W-coating。 Plot 这是经典的H/2 L/4 设计。 Comment Antireflection (AR) Filters Page AR-4 Three-Layer Description 一个三层膜的AR 膜系比两层的在反射上可以有更多的控制。这种膜系的成功之处很大程度在于找到三种折射率可以和基板，入射介质相兼容的药材。 Plot 这是经典的M/4 H/2 L/4 设计。它具有在一定程度上消除色差的优点。 Antireflection (AR) Filters Page AR-5 Four-Layer Two-Material Description 三层的AR 膜系为了得到最好的性能，需要3 种药材，这是其弱点，也很难找到。现在，只要将贴着基板的那个膜层用等价的3 层的膜堆取代，就可以克服这一缺点，这里的膜堆是由其它两种药材组成的。Thelen 依据 W.Geffcken 的理论给出了不同基板的设计的表格。但应用优化，对于指定的基板和波长范围，我们可以很容易的设计出 4 层的膜系。 Plot 细线表示的是用等价的膜堆 HLH 取代膜层1 ...