《薄膜光学与技术》2022 期末考试试题A-答案 2022-2022 学年第1 学期《薄膜光学与技术》期末考试试题(A 卷)�参考答案及评分标准�一、填空题(每空1 分,共24 分)�1、在折射率为3
5 的基底表面镀单层减反射膜,对于4000nm 的光波,理论上能达到最佳减反射效果的薄膜折射率为:1
8708,需要镀制的薄膜光学厚度为1000nm
�2、若薄膜的折射率为n,光线在薄膜内的折射角为θ,则、p 光的修正导纳分别为ncoθ、n/coθ�3、对于波长为λ的光来说,单层膜的光学厚度每增加λ/4,薄膜的反射率就会出现一次极值变化
当薄膜的折射率小于基底折射率时,出现的第一个反射率极值是极小(极大、极小)值
�4、虚设层的形成条件是:薄膜的光学厚度等于半波长的整数倍5、周期性对称膜系(pqp)的等效折射率和基本周期/pqp 的等效折射率完全相同,其等效位相厚度等于基本周期的倍�6、折射率为n1,光学厚度为λ0/4,基底的折射率为n,那么,该单层膜与基底的组合导纳为:Yn12n7、介质高反射膜的波数宽度仅与两种膜料的折射率有关,折射率差值越大,高反射带越宽
�8、热偶真空规是通过测量温度达到间接测量真空的目的
�9、镀膜室内真空度高表明气体压强小,真空度低则气体压强大10、薄膜几何厚度的监控通常用石英晶振膜厚仪来实现,光学厚度常常采用光电膜厚仪来监控
�11、采用PVD 技术制造薄膜器件时,薄膜折射率的误差主要来自三个方面:膜层的聚集密度、膜层的微观组织物理结构、膜层的化学成分12、改善膜层厚度均匀性的措施包括旋转夹具和膜层厚度调节板13、采用光电极值法监控膜厚,如果需要镀制光学厚度为900nm 的薄膜,在500-700nm 范围内,可以选取的监控波长为600 和514
�二、辨析题:先回答以下说法是否正确
然后说明理由或修改正确
(15分)�说明:以上各题判断正