• 多 晶 硅 还 原 炉 倒 棒 原 因 1 引言 多 晶 硅 是 制 造 集 成 电 路 衬 底 、 太 阳 能 电 池 等 产 品 的 主 要 原 料 。 多 晶硅 可 以 用 于 制 备 单 晶 硅 ， 其 深 加 工 产 品 广 泛 用 于 半 导 体 工 业 中 ， 作 为 人工 智 能 、 自 动 控 制 、 信 息 处 理 、 光 硅 转 换 等 器 件 的 基 础 材 料 。 同 时 ， 由于 能 源 危 机 和 环 境 保 护 的 要 求 ， 全 球 正 积 极 开 发 利 用 可 再 生 能 源 。 太 阳能 因 其 清 洁 、 安 全 、 资 源 丰 富 ， 是 可 再 生 能 源 中 最 引 人 关 注 的 。 利 用 太阳 能 的 一 种 主 要 方 法 就 是 通 过 光 电 压 效 应 将 太 阳 能 转 化 为 电 能 ， 硅 太 阳能 电 池 即 是 基 于 光 电 压 效 应 的 装 置 ， 由 于 半 导 体 工 业 和 太 阳 能 电 池 的 发展 ， 高 纯 度 多 晶 硅 的 需 求 不 断 增 加 。 目 前 国 际 上 多 晶 硅 生 产 工 艺主 要 有改良西门子法 和 硅 烷法 ， 其 中70％以 上 采用 改良西门子法 。 改良西门子法 能 兼容电 子级和 太 阳 能 级多 晶 硅 的 生 产 ， 以 技术成 熟、 适合产 业 化 生 产 等 特点， 是 目 前 多 晶 硅生 产 普遍采用 的 首选工 艺。 西门子法 通 过 气相沉积 法 生 产 柱状多 晶 硅 ， 为 提高 原 料 利 用 率和 环境 友好,改良西门子法 在西门子法 的 基 础 上 采用 了闭环 式生 产 工 艺，该工艺将 工 业 硅 合成 SiHCl3， 再 让SiHCl3 在H2 气氛下在还 原 炉 中 还 原 沉积得到多 晶 硅 ， 多 晶 硅 还 原 炉 排出的 尾气H2、 SiHCl3、 SiH2Cl2、 SiCl4 和 HCl 经过 分离后再 循环 利 用 。 国 内多 晶 硅 生 产 基 本都实现了闭环 工 艺， 生产 多 晶 硅 的 能 耗和 成 本大幅度 降低[2]， 促使多 晶 硅 迅速火爆发 展 起来。 2 多晶硅还原炉 多 晶 硅 还 原 炉 是 西门子法 生 产 多 晶 硅 的 核心设备 之一 ， 其 基 本结构如图1 所示。 多 晶 硅 还 原 炉 由 底...
