浅谈液态感光油墨液态感光油墨应用工艺流程图: > 基板的表面处理-- > 涂布(丝印)--> 预烘--> 曝光--> 显影--> 干燥--> 检查 --> 蚀刻--> 褪膜--> 检查 (备注:内层板) 基板的表面处理-- > 涂布(丝印)--> 预烘--> 曝光--> 显影--> 干燥--> 检查 --> 电镀--> 褪膜--> 蚀刻--> 检查 (备注:外层板) 一.液态光致抗蚀剂( Liquid Photoresist) 液态光致抗蚀剂(简称湿膜)是由感光性树脂,配合感光剂、色料、填料及溶剂等制成,经光照射后产生光聚合反应而得到图形,属负性感光聚合型
与传统抗蚀油墨及干膜相比具有如下特点: a )不需要制丝网模版
采用底片接触曝光成像(ContactPrintig),可避免网印所带来的渗透、污点、阴影、图像失真等缺陷
解像度(Resolution)大大提高,传统油墨解像度为200um,湿膜可达40um
b )由于是光固化反应结膜,其膜的密贴性、结合性、抗蚀能力( Etch Resistance)及其抗电镀能力比传统油墨好
c )湿膜涂布方式灵活、多样,工艺操作性强,易于掌握
d )与干膜相比,液态湿膜与基板密贴性好,可填充铜箔表面轻微的凹坑、划痕等缺陷
再则湿膜薄可达5 ~ 10um,只有干膜的1/3 左右,而且湿膜上层没有覆盖膜(在干膜上层覆盖有约为25um厚的聚酯盖膜),故其图形的解像度、清晰度高
如:在曝光时间为4S/7K时,干膜的解像度为75um,而湿膜可达到40um
从而保证了产品质量
e )以前使用干膜常出现的起翘、电镀渗镀、线路不整齐等问题
湿膜是液态膜,不起翘、渗镀、线路整齐,涂覆工序到显形工序允许搁置时间可达48hr,解决了生产工序之间的关联矛盾,提高了生产效率
f)对于当今日益推广的化学镀镍金工艺,一般干膜不耐镀金液,而湿膜耐镀金液