超精密加工的发展和展望精密和超精密制造工程是适应前沿高技术发展需求而发展起来的。它是一个国家重要经济和技术实力的体现，是其它高新技术实施的基础。超精密制造技术是当前各个工业国家发展的核心技术之一一，各技术先进国家在高技术领域（如国防工业、集成电路、信息技术产业等）之所以一直领先，与这些国家高度重视和发展超精密制造技术有极其重要的关系。超 精 密 制 造 技 术 是 随 着 测 量 技 术 的 发 展 而 发 展 的 。Renishaw、Heidenhain 及 SONY 等公司发展了分辨率均可以达到 1nm 的测量元件；美国 HP 公司、英国 Taylor、美国 zygo 等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。超精密制造技术在国际上已经得到广泛应用。与国防工业有关的如人造卫星用的姿态轴承和遥测部件、被送入太空的哈勃望远镜（HST）、飞机发动机转子叶片等；与集成电路（IC）有关的硅片加工（要求硅片的加工表面粗糙度 Ra—般小于 2nm，精度要求达 0.1nm）；此外光刻设备和硅片加工设备的精度要求到亚微米和纳米级。仪表的精度、激光陀螺仪的平面反射镜的精度、红外制导的反射镜等，其表面粗糙度均要求达到纳米级。另外，光学非球曲面零件面形制造精度要求已达入/（30—50），表面粗糙度要求 W0・5nm。1、超精密制造技术的发展状况1962 年美国 UnionCarbide 公司研制出首台超精密车床。在美国能源部支持下，LLI 实验室和 Y—12 工厂合作，与 1983 年成功地研制出大型超精密金刚石车床(DTM—3 型)。该机床可加工直径 C2100mm，多路激光干涉测量系统分辨率为 2.5nm。1984 年，LLL 实验室成功地研制出 LODTM 大型金刚石车床。该机床可加工的最大直径为 01625mmx500mm，重量 1360kg。采用的双频激光测量系统分辨率为 0.7nm,其主轴静态精度为：径向跳动W25nm,轴向窜动 W51nm。LLL 实验室这两台机床是目前公认的国际上水平最高的超精密机床。CUPE(CranfieldUnitforPrecisionEngineering)研制的 Nanocenter 超精密车床已批量生产，其主轴精度 W50nm,加工工件的面形精度 W0.1um。Taylor 公司兼并了 Pneumo 公司以后，批量生产Nanoform250 超精密车床，产品占据了国际超精密加工很大部分应用市场，是技术领先的产品。进入 90 年代以后，超精密铣磨和抛光技术在几个发达国家竞相发展，个别实验室可以达到很高的水平，特别是其中包含的纳米制造技术，受到很大的关注。开发超精密铣磨和纳米抛光制造...
