晶 硅 太 阳 能 电 池 生 产 线 工 艺 及 设 备 调 研第一章背景及原理第二章主要生产工艺过程第三章主要设备介绍第四章深圳相关公司介绍第五章我国晶硅太阳能电池设备存在三大问题（引用网络文章）第一章背景及原理1.1 背景略（光伏意义，政府政策等）1.2 硅太阳能电池的结构及其工作原理其主要是利用硅半导体p-n 结的光生伏打效应。即当太阳光照射p-n 结时，便产生了电子-空穴对，并在内建电场的作用下，电子驱向n 型区，空穴驱向p 型区，从而使n 区有过剩的电子，p 区有过剩的空穴，于是在p-n 结的附近形成了与内建电场方向相反的光生电场。在n 区与 p 区间产生了电动势。当接通外电路时便有了电流输出。1.3 常见的硅基太阳能电池外观单晶硅太阳电池多晶硅非晶硅太阳电池第二章主要生产工艺过程我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进行简单的介绍。晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括：硅片清洗、 绒面制备、 扩散制结、 （等离子周边刻蚀）、去 PSG( 磷硅玻璃 ) 、PECVD 减反射膜制备、电极(背面电极、铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结、Laser 和分选测试等。同时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效果、抽样测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率等项目。2．1 目前硅太阳能电池制造工序制绒清洗工序(a). 单晶制绒 ---捷佳创目的与作用：（ 1） 去除单晶硅片表面的机械损伤层和氧化层。（ 2） 为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率,根据单晶硅的各向异性的特性，利用碱(KOH) 与醇 (IPA) 的混合溶液在单晶硅表面形成类似“金字塔 ”状的绒面 ,有效增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。(c). 去磷硅玻璃 ---PS 在扩散过程中发生如下反应：POCl 3 分解产生的P2O5 淀积在硅片表面，P2O 5 与 Si 反应生成 SiO2 和磷原子：这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO 2，称之为磷硅玻璃。去除磷硅玻璃的目的、作用：1. 磷硅玻璃的厚度在扩散中工艺难控制，且其工艺窗口太小，不稳定。2. 磷硅玻璃的折射率在1.5 左右，比氮化硅折射率（2.07 左右）小，若磷硅玻璃较厚会降低减反射效果。3. 磷硅玻璃中含有高浓度的磷杂质，会增加少子表面复合，使电池效率下降。扩散工序扩散的目的： 制造太阳能电池的PN 结。PN 结是太阳能电池的“心脏”。制造 PN 结，实质上就是想办法使受主杂质在半导体晶体内的一个区域中占优势（P...
