单靶镀膜工艺操作规范

下载后可任意编辑单靶镀膜工艺操作法律规范1. 适用范围2. 本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。3. 技术要求2.1 铝靶的直径≥60mm; 2.2 压缩空气的压强应达到 0.4～0.6Mpa; 2.3 镀膜操作室的室温小于 35℃, 相对湿度小于 70%RH; 2.4 镀室内清洁, 无灰尘、 异物。4. 操作步骤3.1 工作准备3.1.1 打开压缩空气阀门, 检查空气压强是否达到 0.4～0.6Mpa。3.1.2 打开冷却循环水阀门, 同时检查通水状况是否良好, 各水管的接头和阀门有无泄漏。3.1.3 检查氩气、 氮气两种气体的联接状况, 看接头是否有泄漏,分别打开氩气、 氮气的总阀。3.2 开机3.2.1 开启本机电源。3.2.2 将机箱控制面板上的电源开关置于”开”的位置, 手动状态下, 打开”机械泵”, 延时 1 分钟后, 压差阀自动打开, 按下”前级阀”按钮, 当电离计显示数值低于 8Pa 时, 开”机械泵扩散泵”, 扩散泵加热。扩散泵加热温度超过 160℃后, 方可进行正常的操作。3.2.3 缓慢调节氩气、 氮气减压阀, 得氩气、 氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa 之间。3.2.4 打开质量流量计显示器电源开关。3.2.5 打开计算机电源, 输入工艺卡片中规定的工艺参数。下载后可任意编辑3.2.6 打至 ”放气”按钮, 放完气后打到”停”, 然后打开镀室门。3.3 装管3.3.1 打开转架电源开关, 将合格内管插入转架插杆。装管时, 预先戴好一次性手套, 外层再戴上洁净的细纱手套, 戴好之后不许触摸其它物品, 如门、 车把、 桌椅等。3.3.2 玻璃管全部插满插杆后, 观察每支管子的自转状态, 确定玻璃管间无碰撞后, 关闭转架电源开关, 关闭镀室门。3.4 粗抽真空将”前级”拨到”停”拨到”粗抽”系统进入”粗抽”, 复合计开始显示读数。3.5 精抽真空当复合计显示值小于 8Pa 时, 将按钮由”粗抽”拨到 ”停”然后到”前级”再到”高阀”。3.6 溅射镀膜3.6.1 当高真空达到工艺设定( 复合计显示值) 后, 将按钮达到”光栏”按下”氩气”开关将质量流量计达到”自动””阀控”。开始进氩气。3.6.2 打开转架旋转电源开关、 慢慢调至 80±10V。3.6.3 当电离计显示到工艺压强时, 打开靶电源, 调节电流旋钮至规定电流值。直到电压达到 400V, 按下”运行”开始镀膜。3.6.4 当镀膜机处于溅射工作状态时, 操作工随时观察设备的运行状态, 注意各仪器仪表显示的数值变化, 严格按要求填写《镀膜操作记录》。3.7 装配支架3.7.1 装填支架前,...