现代表面技术复习题答案第一章1,课程的性质、特点：“古老 f 实用 f 广泛 f 发展”。2,课程的地位、重要性“重点发展的学科”。第二章表面科学的基本概念和理论1、按照膜层形成方式及其作用原理，表面技术可以分为哪些类型？（1）原子沉积（2）颗粒沉积（3）整体覆盖（4）表面改性2、固体材料界面有哪三种？（1）表面-固体材料与气体或液体的分界面；⑵ 晶界（或亚晶界）-多晶材料内部成分、结构相同而取向不同的晶粒（或亚晶）之间的界面。（3）相界-固体材料中成分、结构不同的两相之间的界面。3、何谓清洁表面？何谓实际表面？清洁表面：经过诸如离子轰击、高温脱附、超高真空解理、蒸发薄膜、场效应蒸发、化学反应、分子束外延等特殊处理后，保持在 10-6Pa-10-9Pa 超高真空下外来沾污少到不能用一般表面分析方法探测的表面。实际表面：暴露在未加控制的人气环境中的固体表面，或者经过一定加工处理（如切割、研磨、抛光、清洁等），保持在常温和常压（也可能在低真空或者高温）卞的表面。4、清洁表面为何存在各种类型的表面缺陷？从热力学来看，表面附近的原子排列总是趋于能量最低的稳定状态。达到该稳定状态的方式有两种：一是自行调整，表面原子排列情况与材料内部明显不同；二是依靠表面的成分偏析和表面对外来原子或分子的吸附以及这两者的相互作用而趋向稳定态，因而使表面组分与材料内部不同。所以清洁表面必然存在各种类型的表面缺陷。5、简述表面驰豫和表面重构并画出结构示意图。表面弛豫：表面原子的上、下位移（压缩或膨胀）称为表面驰豫。表面重构：在平行于基底的表面上，原子的平移对称性与体内显著不同，原子位置作了较大幅度的调整，这种表面结构称为重构（或再构）。缺列型重构：是表面周期性地缺失原子列造成的超结构。重组型重构：并不减少表面的原子数，但却显著地改变表面的原子排列方式。就是6、什么是贝尔比层？它有什么特点？贝尔比（Beilby）层：金属在切割、研磨和抛光时，表面原子来不及回到平衡位置，造成一定程度的晶格畸变,深度可达几十微米。这种晶格畸变是随深度变化的，而在最外层约 5mn-10nm 厚度可能会形成一种非晶态层，该膜层就称为贝尔比（Bedby）层。其成分为金属和它的氧化物，而性质与体内明显不同。贝尔比层具有较高的耐磨性和耐蚀性，这在机械制造时可以利用。但是，在其它许多场合，贝尔比层是有害的，例如，在硅片上进行外延、氧化和扩散之前要用腐蚀法除掉贝尔比层，因为它会感生出...
