1 光 栅 尺 工 作 原 理 光 栅 位 移 传 感 器 的 工 作 原 理 , 是 由 一 对 光 栅 副 中 的 主 光 栅 ( 即标 尺 光 栅 ) 和 副 光 栅 ( 即 指 示 光 栅 ) 进 行 相 对 位 移 时 , 在 光 的 干 涉 与衍 射 共 同 作 用 下 产 生 黑 白 相 间 ( 或 明 暗 相 间 ) 的 规 则 条 纹 图 形 , 称 之为 莫 尔 条 纹 。 经 过 光 电 器 件 转 换 使 黑 白 ( 或 明 暗 ) 相 同 的 条 纹 转 换 成正 弦 波 变 化 的 电 信 号 , 再 经 过 放 大 器 放 大 , 整 形 电 路 整 形 后 , 得 到 两路 相 差 为 90o 的 正 弦 波 或 方 波 , 送 入 光 栅 数 显 表 计 数 显 示 。 二 、 工 作 原 理 常 见 光 栅 的 工 作 原 理 都 是 根 据 物 理 上 莫 尔 条 纹 的 形 成 原 理 进 行工 作 的 。图 4-9 是 其 工 作 原 理 图 。 当 使 指 示 光 栅 上 的 线 纹 与 标 尺 光 栅上 的 线 纹 成 一 角 度来 放 置 两 光 栅 尺 时 , 必 然 会 造 成 两 光 栅 尺 上 的 线纹 互 相 交 叉 。 在 光 源 的 照 射 下 , 交 叉 点 近 旁 的 小 区 域 内 由 于 黑 色 线 纹重叠, 因而遮光 面积最小 , 挡光 效应最弱, 光 的 累积作 用 使 得 这个区域 出现亮带。 相 反, 距交 叉 点 较远的 区 域 , 因两 光 栅 尺 不透明 的 黑 色线 纹 的 重叠部分变 得 越来 越少, 不透明 区 域 面积逐渐变 大 , 即 遮光 面积逐渐变 大 , 使 得 挡光 效应变 强, 只 有 较少的 光 线 能 通 过 这个区 域 透过 光 栅 , 使 这个 区 域 出现暗 带。 这些 与 光 栅 线 纹 几 乎 垂 直 , 相 间 出现的 亮、 暗 带就 是 莫 尔 条 纹 。 莫 尔 条 纹 具 有 以 下 性 质 : (1) 当用平行光束照射光栅时,透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。 (2) 若用 W 表示莫尔条纹的宽度,d 表示光栅的栅距,θ 表示两光栅尺 线 纹的夹 角 ,则 它 们 之 间 的几 何 关 系 为 W=d/ sin 当 角 很 小时,上 式 可 近似写 W=...