精品文档---下载后可任意编辑中波、短波非制冷红外焦平面阵列技术讨论的开题报告一、选题背景非制冷红外焦平面阵列(Uncooled Infrared Focal Plane Array,UIFPA)技术因其低功耗、低成本、易于集成等优势,逐渐成为红外热像仪领域的主要技术
目前的 UIFPA 技术主要分为两类:1
基于硅微机电系统(MEMS)制备的回路式 UIFPA 技术,具有高灵敏度、高分辨率等优势,并且可以在现有半导体集成工艺中实现大规模生产
基于绝缘材料的非晶硒(a-Si)等材料的热电 UIFPA 技术,具有较高的灵敏度和响应速度,并且可以用于制作大面积的 UIFPA
本讨论计划在现有 UIFPA 技术的基础上,深化讨论中波、短波非制冷红外焦平面阵列(Uncooled Mid-Wave and Short-Wave Infrared Focal Plane Array,UMSIFPA)技术,以应对红外成像的高端需求
现有技术在中波和短波红外波段的成像效果不佳,因此 UMSIFPA 技术的讨论具有重要的意义
二、讨论内容和方法1
讨论内容针对 UMSIFPA 技术的讨论,本讨论计划将重点讨论以下内容:1
中波、短波红外焦平面阵列的制备工艺
中波、短波红外焦平面阵列的物理特性和成像性能分析
红外反射表面的制备和优化
UMSIFPA 的集成和封装方法讨论
讨论方法本讨论计划将采纳以下方法:1
基于 MEMS 的热电 UIFPA 技术制备中波、短波红外焦平面阵列
中波、短波红外焦平面阵列的物理特性和成像性能分析采纳光学成像测试仪进行测试分析
精品文档---下载后可任意编辑3
红外反射表面采纳常用的化学气相沉积方法制备
UMSIFPA 的集成和封装方法讨论采纳基于半导体封装技术进行试验制备
三、讨论意义UMSIFPA 技术的讨论将具有以下意