1 电容式压力传感器 一、概念 电容式压力传感器（capacitive type pressure transducer），是一种可以利用电容敏感的原件把被测量的压力转换成为跟它有一定的关系的电信号输出的精密测量仪器。 二、结构与工作原理 它通常是使用镀金属薄膜或者是圆形金属薄膜来做电容器的其中一个电极。在薄膜感受到压力的时候，它会变形的，此时薄膜跟固定的电极间所产生的电容量就会发生改变。测量电路就可以输出跟电压形成一定的关系的电信号。它的应用非常广泛，之所以应用这么广泛，是因为它的优点有很多：它的分辨率很高；它可以进行动态的检测；它的结构很简单，并不复杂；它可以在很恶劣的工作环境下正常工作，解决人不可以测量的很多问题；它可以是非接触测量的，很方便。 三、分类 电容式压力传感器是极距变化型的电容式传感器，有差动电容式和单电容式之分。 （1 ）差动电容式压力传感器 其受压膜片电极是处于两个固定的电极之间的，可以形成两个电容器。当受到压力的作用的时候，其中一个电容器的容量就会变大，而另一个电容器的容量就会相应地变小，而测量的结果是由差动式的电路输出的。此传感器的固定的电极是由在凹而曲的玻璃的表层上面 镀上金属层而制 造 出来的。当过 载 的时候，膜片就会受到凹面 的保 护 ，所以，它是不会破 裂 的。相对 于单电容式压力传感器来说 ，它的线 性 度 较 好 ，灵 敏度 也 较 高，但 是在加 工方面 就比 较 困 难 了 ，还 有它不 2 可 以 完 成 对 被 测 的 液 体 或 者 是 气 体 的 隔 离 ， 所 以 ， 它 不 适 合 使 用 在 有 杂 质 的 或 者是 有 腐 蚀 性 的 流 体 之 中 。 （ 2） 单 电 容 式 压 力 传 感 器 它 是 由 固 定 的 电 极 和 圆 形 的 薄 膜 组 成 的 。 当 受 到 压 力 作 用 的 时 候 ， 薄 膜 就 会发 生 变 形 ， 这 样 就 会 改 变 电 容 器 的 容 量 。 它 的 灵 敏 度 大 概 是 跟 薄 膜 与 固 定 的 电 极之 间 的 距 离 和 薄 膜 的 张 力 成 反 比 关 系 的 ； 而 跟 压 力 和 薄 膜 的 面 积 成 正 比 关 系 的 。有 另 外 的 一 种 型 式 ， 它 是 跟 固 定 电 极 取 凹 形 球 面 状 的 ， 而 膜 片 是 周 围 边 缘 的 固 定的 ...
