真空检漏1 一、概述 1．概漏的基本概念 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。 虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。 气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。 最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。 最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。 检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。 反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。 消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。 漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。 2．漏孔、漏率及其单位 真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图 1 所示)，无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率 (简称为漏率)表示漏孔的大小。 用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01×105Pa，出口压力低于 1.33×103Pa，温度为 296 士 3K 的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于 248K 的空气的气体量。 漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为 Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为 PaL／s。 3．最大容许漏率 真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。 对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。动态真空系统的最大容许漏率 qLmax 应满足 qLmax≤ 1/10PwS (1) 式中 Pw----系统工作压力 S----系统的有效抽速 对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。如果要求在时间 t 内,容积为 V 的系统的压力由 p 升至 pt，则其最大容许漏率 qLmax 应满足...
