光致抗蚀剂项目可行性讨论报告目录序言..................................................................................................................................................3一、光致抗蚀剂项目建设背景及必要性分析...............................................................................3(一)、行业背景分析...............................................................................................................3(二)、产业进展分析...............................................................................................................4二、技术方案..................................................................................................................................5(一)、企业技术研发分析.......................................................................................................5(二)、光致抗蚀剂项目技术工艺分析...................................................................................6(三)、光致抗蚀剂项目技术流程...........................................................................................8(四)、设备选型方案...............................................................................................................9三、光致抗蚀剂项目选址说明.....................................................................................................11(一)、光致抗蚀剂项目选址原则.........................................................................................11(二)、光致抗蚀剂项目选址.................................................................................................13(三)、建设条件分析.............................................................................................................14(四)、用地控制指标.............................................................................................................15(五)、地总体要求.................................................................................................................17(六)、节约用地措施..........................
