某电子行业企业含氟废水处理工程实例分析摘要:某电子行业企业在前清洗、腐蚀、蚀刻等过程产生的含氟废水排放量大、浓度高、毒性强。本文以该企业含氟废水处理工程为例,采纳“活性炭吸附塔+袋式过滤器+三级树脂柱+终端过滤箱”处理部分含氟废水并回用,再生废水和其余含氟废水经两级加药化学沉淀工艺处理后排放。上述工艺既能满足企业生产活动中用水的需求，又能实现含氟废水处理后的达标排放。工程实例证明，该处理工程能大幅降低废水中氟化物的含量，运转稳定且能够达到清洁生产的要求。关键词:含氟废水电子行业三级树脂柱二级沉淀电子专用材料、电子元件及电路板等是电子行业的基础产品，需求量大。在生产这些电子基础配件的清洗、腐蚀、蚀刻等工艺过程当中常常会伴随产生排放量大、浓度高、毒性强的含氟废水，其中氟是该废水处理的重点。尽管氟元素是人体必需的微量元素之一，但过量摄入会对人体及生物造成严重危害⑴。近几年以来,伴随着氟化物的加工使用，尤其是电子行业和氟化工业的迅猛进展，含氟废水排放量不断上升⑵，该废水的合理收集和有效净化处理成为实现清洁生产的关键。目前国内外处理含氟废水的主要方法有化学沉淀法、混凝沉淀法、吸附法、反渗透法、离子交换法、电凝聚法、液膜法、共蒸憎法等⑶，但大多数处理方法的出水水质不稳定，二次污染较严重⑷，因此在含氟废水的实际处理过程当中，更多地会采纳多方法组合处理的工艺,如马倩⑸采纳]在含氟废水的+反渗透系统氟废水的实际处理过程当中，更多地会采纳多方法组合 65%以上。本文以某电子行业企业含氟废水处理工程为例,该企业在前清洗、腐蚀、蚀刻等生产过程当中会产生含氟废水，该废水产生量大、浓度高、毒性强。综合考虑该企业实际含氟废水排放量、排放特点、处置目的和处置成本,该企业采纳是人体必需的微+袋式过滤器+三级树脂柱+终端过滤箱子行业企业含氟废水处理工程为例，该企业在前清洗、腐蚀、蚀刻等生产过程当中会产生含氟废水。1 废水特性和处理要求1.1 废水处理要求处理后废水中 COD、SS、氨氮、总磷、氟化物需满足《半导体行业污染物排放标准》（征求意见稿），总氮满足该企业所在地污水处理厂设计进水标准。1.2 设计工艺流程该企业生产过程当中用水需求量、含氟废水排放量均很高，其中超纯水需求量约为 35.8 万吨/年,含氟废水产生量约为 68.6 万吨/年。企业根据自身产生的废水性质和实际生产情况，拟采纳去除率高、系统稳定的处理方法处理部分含氟废水并回用...
