多晶硅中二氯二氢硅反歧化综述二氯二氢硅歧化反应的综述 摘要：二氯二氢硅（Dichlorosilane ,简称 DCS）是多晶硅行业中产生的废料之一，如何充分利用二氯二氢硅，减少污染，增加三氯氢硅的产量，是多晶硅行业中比较重要的问题之一。本文详细综述了国内外二氯二氢硅歧化反应的有关技术，并对二氯二氢硅歧化反应的催化剂进行了详细的叙述，为今后进一步讨论二氯二氢硅的歧化反应提供了理论依据。 关键词：二氯二氢硅，歧化，多晶硅 英文摘要：Dichlorosilane is one of the by-products from the reaction of at least one of meatallurgical silicon and silicon tetrachloride with at least one of anhydrous hydrogen chloride and hydrogen to produce trisilane.It is important to the silicon industry how to take advantage of the dichlorosilane. This paper introduced the dispropornation of dichlorosilane to produce trichlorosilane and summarized the dispropornation catalyst. Through this paper, it provided a theoretical basis for the further research of the dichlorosilane dispropornation. 二氯二氢硅(又名二氯硅烷，Dichlorosilane ，简称 DCS），分子式SiH2Cl2，无色，剧毒，腐蚀性，易燃，带有刺激性的盐酸味，常温下呈液化的气体。二氯二氢硅在空气中易燃，100℃以上能自然，燃烧后生成氯化氢和氧化硅。加热至 100℃以上时会自行分解而生成 盐酸、氯气、氢气和不定性硅，施以强烈撞击时也会自行分解，在湿空气中产生腐蚀性烟雾。与碱、乙醇、丙酮起反应，即使接触少量卤素或其他氧化剂也会发生激烈反应。二氯二氢硅的毒性主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。二氯二氢硅主要用作半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体，有机硅化合物的生产，制作大规模集成电路所必需的优质硅源。 一、多晶行业中二氯二氢硅的来源 在多晶硅行业的生产中，DCS 废料的产生主要有以下两个过程：一是氯化过程或冷氢化过程中所产生的二氯二氢硅；二是在化学气相沉积（CVD）还原炉中三氯氢硅（TCS）的还原过程中也会产生二氯二氢硅。这些二氯二氢硅在以前的多晶硅装置中是不能够回收利用的，它在蒸馏过程中随其它轻组分一起蒸出，而进入到废物回收系统中，水解产生大量的废气，对环境造成严重的污染。假如这部分二氯二氢硅能...
